渗氮多用炉的操作要点

2020-11-28 10:50:48

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1、抽真空。接通总电源，关闭蝶阀，起动真空泵，缓慢打开蝶阀，以避免发生喷油现象，抽真空至很小真空度。

2、向炉内通少量氨气或氨分解气，冲洗炉体几分钟。在真空度为67Pa左右时，可对炉内输入400~500V高压电流电，使工件起辉，对工件打散弧以活化工件表面。

3、在30~ 60min内使辉光稳定，逐步减少限流电阻或降低灭弧灵敏度。

4、按工艺调整真空度、电压、电流、气体流量等参数。真空度应通过调整流量计和蝶阀来进行，使抽气速率平稳。

5、升温过程中要注意经常观察炉内工作情况，如出现打弧或局部温度过高等现象时，要及时调整各项参数，降低电压，以降低升温速度，或暂停供气。

6、通冷却水，炉体温度应控制在40~60℃。

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7、在保温阶段，所需的电流密度小于升温时所需的电流密度，真空度为267~800Pa，辉光层厚度一般为1.5~3mm。保温期间应稳定气体流量和抽气率，以稳定炉内气压，也应随时观察炉内工作状况，发现情况及时处理。

8、保温结束后即可降温。先停止供气，关闭气源、电磁阀;然后停止供电：调低电压，切断高压电源，将有关旋钮、开关及手柄复位。

9、将炉内抽至很小真空度，关闭蝶阀，停止真空泵。

10、根据工艺需要、工件复杂程度及变形要求等实际情况，控制冷却速度。方法是：若要降低冷却速度，可以停止向炉内供气，停止抽气，以小电流维持弱辉光，待工件温度降至300℃以下时再加快冷却速度。若要加快冷却速度，可以关掉高压，继续送气、抽气，加大冷却水量。

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